Methods for Fabrication of Released Nickel Comb Drive Devices on CMOS

YALÇINKAYA A. D., JAN R., LEIF J., HANSEN O.

Transducers '01/Eurosensors XV, 10 - 14 Haziran 2001, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Boğaziçi Üniversitesi Adresli: Evet