Deep Reactive Ion Etching for Microelectromechanical Systems


JENSEN S., YALÇINKAYA A. D., RASMUSSEN F., HANSEN O.

19th Nordic Semiconductor Meeting, Tampere, Finland, 5 - 07 Ekim 2003, (Özet Bildiri)

  • Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
  • Boğaziçi Üniversitesi Adresli: Evet