Electroplated Ni Comb accelerometers for CMOS post processing

JOHANSEN L. S., RAVNKILDE J., YALÇINKAYA A. D., HANSEN O.

13th European Conference on Solid-State Transducers, 12 - 14 Eylül 1999, (Tam Metin Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Tam Metin Bildiri
• Boğaziçi Üniversitesi Adresli: Evet