CMOS integrated nickel electroplated comb drive resonators

YALÇINKAYA A. D., HANSEN O.

19th Nordic Semiconductor Meeting, Tampere, Finland, 5 - 07 Ekim 2003, (Özet Bildiri)

• Yayın Türü: Bildiri / Özet Bildiri
• Boğaziçi Üniversitesi Adresli: Evet